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MPCVD单晶钻石沉积设备系列
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MPCVD单晶钻石沉积设备介绍:化学气相沉积法制备高品质单晶钻石,化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜,化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜项目名称 规格 配置 主控单元 PLC 自动程控 微波源 6kw 2.45Ghz 微波电源 微波发生器 波导 6kw 三销钉 模式转换器 6kw 谐振腔体 6kw 柱形水冷腔体 基台 φ70mm 电动升降 钻石生长基本参数 7x7mm 37片 8x8mm 29片 9x9mm 21片 10x10mm 13片 MFC。
1380000.00
  • 商品介绍
  • 规格服务
  • 商品评价
  • 更新时间: 2023-01-05 12:00 2023-01-05 12:00

产品名称:MPCVD单晶钻石沉积设备

产品型号:〓〓

供货厂商:浩逸科学仪器


〓 MPCVD单晶钻石沉积设备

化学气相沉积法制备高品质单晶钻石,化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜,化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜


适合的应用▼

?化学气相沉积法制备高品质单晶钻石

?化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜

?化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜

?化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和钻石膜等各种碳纳米薄膜


产品特点▼

?本产品为不锈钢腔体式6kw微波等离子体设备,功率密度高;

?水冷式基片台和水冷式金属反映腔,保证系统能长时间稳定工作;

?基片温度以微波等离子体自加热方式达到;

?真空测量仪表采用全量程真空计,可**测量本底真空和工作气体压强;

?真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1×10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为1Pa),系统可自动控制沉积气压;

?配备冷却水循环系统,确保装置高功率下可长时间**稳定运行;

?系统带15寸触摸屏,PLC自动控制,可设置温度或气压恒定,可保存复用多达20套工艺文件;

?全自动工艺控制模块,可以稳定可靠地制备高品质钻石薄膜和晶体

技术指标与特性▼

项目名称

规格

配置

主控单元


PLC 自动程控

微波源

6kw 2.45Ghz

微波电源

微波发生器

波导

6kw

三销钉

模式转换器

6kw


谐振腔体

6kw

柱形水冷腔体

基台

φ70mm

电动升降

钻石生长基本参数


7x7mm 37片

8x8mm 29片

9x9mm 21片

10x10mm 13片

MFC(质子流量计)

5路

Ch4 0-500sccm

H2 0-500sccm

N2 0-500sccm

Ar 0-500sccm

O2 0-500sccm

测温元件


高精度红外测温仪

真空测量


高精度真空计

分子泵


默认无/可选

氢气纯化


9N级

水循环


3P水冷机 


便捷服务

售后服务

  • 一、免责声明

    客户在订购仪器仪表设备时请仔细确认后再行订购,由客户选型失误而造成的退货需求,我方不承担任何责任。

  • 二、售后/维修政策

    由于仪器仪表设备型号复杂,客户采购的相关产品售后及维修政策各有不同,按照实际签订的协议执行。

  • 三、申请退货/换货

    符合以下情况,客户在实际收到货物日期(客户签收或签单日)起5个工作日内可申请退货,10个工作日内可申请换货:

    (1)国家三包所规定的功能性故障:经由生产厂家指定或特约售后服务中心、国家级别第三方检测机构检测确认故障属实,并出据出检报告证实。

    (2)到货物流损坏或缺件:经我方客服人员核查且情况属实。

  • 四、以下情况不予办理退换货

    (1)客户指定运输公司造成货损的产品。

    (2)任何非正常使用以及保管导致出现质量问题的产品。

    (3)根据客户要求定制、改装以及在产品上添加特定文字、标志等的产品。

    (4)过保产品(超过三包保修期的产品)。

    (5)未经授权的维修、误用、碰撞、疏忽、滥用、进液、事故、改动、不正确的安装所造成的产品质量问题,或撕毁、涂改标贴、机器序号、防伪标记。

    (6)产品的外包装、附件、赠品、说明书不完整,发票缺失或涂改。

    (7)产品使用正常磨损。

  • 注:

    1.售后提交时间:收到产品后(含) 3个工作日;

    2.退货时效:售后申请成功之日起,(含)3个工作日,按照对应的退货地址,提交客服或销售退回信息,不提交即为自动放弃;

    3.已开票订单产生售后问题,需先退回发票;

    4.如厂家在商品介绍中有售后保障的说明,则此商品按照厂家说明执行售后保障服务。

    暂无商品规格
    暂无商品评价
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